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產(chǎn)品描述：

本霍爾離子源功能：

　　預(yù)清潔、優(yōu)化工件表面，增加膜層附著力，增強多層鍍膜能力，改善膜層聚密度，改善膜層光學特性。

　　特點：

　　1.離子源燈絲采用交流供電，電流均衡，功率密度大。

　　2.設(shè)有軟啟動功能，防止沖擊源頭，延長產(chǎn)品使用壽命。

　　3.設(shè)有短路和過流保護，工作安全可靠。不怕人為誤操作或源頭原因造成的長時間短路問題。

　　4.可以增加特色功能，如外控，閥控，定時等。

　　5.電源功率充足，燈絲電壓/電流可達40V/50A，陽極電壓/電流可達220V，25A。長期工作。

　　優(yōu)點：

　　1、高輸出的離子束電流，能提高鍍膜 速率。

　　2、經(jīng)優(yōu)化的離子束輸出能量能減低基板表面受高能離子轟擊而損壞的情況，使產(chǎn)品合格率得以提高。

　　3、寬廣的離子束射出角度能覆蓋更大的鍍膜面積，用戶能增加每爐基板數(shù)目，提高生產(chǎn)效率。

　　4、堅固及模塊式的結(jié)構(gòu)能降低維修成本及停機時間。

　　5、經(jīng)廣泛使用驗證的直電流源令操作更簡便，減少停機時間。

　　6、緊湊的外型設(shè)計，能令用戶更方便地升級現(xiàn)有系統(tǒng)。

　　7、與自動化系統(tǒng)連接更便利。

　　8、體積細小，安裝容易，備有燈絲陰極和空心陰極兩種形式，適用于不同鍍膜工藝。

　　應(yīng)用領(lǐng)域：

　　金雅克系列離子源產(chǎn)品能輸出高電流但能量低的離子束，是表面處理及薄膜電鍍工藝的理想工具。其使用范圍包括：

　　1、離子束輔助鍍膜

　　2、基板材料預(yù)清潔及表面處理。

　　3、超硬碳質(zhì)鍍膜。

　　4、增加薄膜附著力和密度，及對溫差和溫度的穩(wěn)定性。

　　5、改善光膜的折射指數(shù)、散射、吸光率等參數(shù)。

　　6、降低鍍膜工藝溫度要求。

　　用于真空鍍膜過程中基底離子轟擊清潔及沉積過程中離子轟擊能量輸送。

　　廣泛應(yīng)用于：增透膜、眼鏡鍍膜、光纖光學、高反鏡、熱/冷反光鏡、低漂移濾波器、帶通濾波器、在線清洗、類金剛石沉積等。

　　能夠改善薄膜的生長、優(yōu)化薄膜結(jié)構(gòu)，增加鍍膜的一致性和重復(fù)性，低溫高速率鍍膜，清除工件表面水和碳氫化合物，增加薄膜密度，降低內(nèi)應(yīng)力低，清除結(jié)合力弱的分子，反應(yīng)氣體活度增加，薄膜成分易于控制。